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上进行P型掺杂。常见的定域掺杂的方法包括掩膜法，可以通过光刻的方法在掩膜上形成需要的图形，这种方法的成本高，不适合大规模生产。相对低成本的方法有通过丝网印刷刻蚀浆料或者阻挡型浆料来刻蚀或者挡住
磷扩散后形成N+区。不过，丝网印刷方法本身的局限性，如对准的精度问题，印刷重复性问题等，给电池结构设计提出了一定的要求，在一定的参数条件下，较小的PN间距和金属接触面积能带来电池效率的提升，因此

尺寸极限就是166mm，扩散炉、PEVCD、丝网印刷、排版串焊等主要设备均可兼容166硅片，因此将硅片尺寸从M2调整为166mm尺寸，仅涉及少量设备改造，代价较低，而适用210mm硅片则需要上全新
。卖瓜的都说自己的瓜甜如初恋，还有亲友在旁边添油加醋地拍手叫好，不仅让买瓜的人无所适从，更让我等吃瓜群众也一脸蒙圈。下面就请跟随笔者捋一捋这个热搜大瓜的草蛇灰线。 01 真大，真好，真香

企业已经在引进进口线，行业先驱已经在行动了。具体来讲，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和
导电膜，最后在TCO上丝网印刷电极，再固化，光再生，就制成了HIT电池。因此从工序上来讲，HIT电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积TCO、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。 2

氧化物薄膜(TCO)，最后通过丝网印刷或电镀技术在电池两侧的顶层形成金属集电极，其结构具有对称性。 HJT电池转换效率已在晶硅光伏电池中位居前列：HJT电池量产之后，日本Sanyo/松下仍在持续研究
%：在高效光伏电池领域，IBC(Interdigitated Back Contact，交叉背接触)电池在产业中也颇受关注，其结构特点是p-n结和金属电极接触都位于电池背部，电池正面避免了金属栅线电极的

、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和应用材料的设备比较成熟，但价格比较昂贵;国内钧石和理想有供货能力。清洗制绒机目前日本YAC比较成熟，YAC目前也在推进
中国本土制造，国产捷佳伟创正在积极研发，已经有数台机器出货。PVD国内宏大和红太阳有出货，丝网印刷机迈为等已经做的非常成熟。回顾光伏产业发展历史，往往是头部企业引进国外成熟设备

，以及防止在沉积掺杂层期间由掺杂剂原子产生缺陷。掺杂的层完全被氧化铟锡(ITO)膜覆盖，然后使用低温导电(LTC)Ag浆料丝网印刷接触金属栅格以进行电流收集。为了增强ITO层和接触栅格的性能，需要进行
不能承受高于200-250℃的工艺温度，此时来自异质结内表面的氢气渗出会对电池性能产生不利影响。由于这个原因，通过丝网印刷对SHJ电池进行金属化时需要使用低固化温度(LCT)银浆，这是目前用于金属栅格

、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅
设备 B. 光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商、聚光电池等 C. 光伏相关零部件：蓄电池、充电器、控制器、转换器、记录仪、逆变器、监视器、支架系统

项目的成功最关键点也是如何控制和降低成本的问题。作为一种新技术路线，异质结技术对其他高效技术的设备兼容性也存在一定难度。除丝网印刷等小部分设备可以升级改造外，总体设备兼容性还比较有难度。杨立友说
，晋能科技早在2017年就已实现中试线投产，现有产能100MW，异质结电池量产最高效率达23.85%，量产平均良率达98.29%，未来的规划产能为1GW，设备正在采购中。 2018年5月，通威股份

硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选
电池DSSC生产技术及研究设备半导体生产设备：全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测等设备 B. 光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件

、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套生产线、测试
设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化电池DSSC生产技术及研究设备 B、光伏电池

扩散超过100/sqr的浅结，这样既提高了Voc和lsc，又能保证FF不会下降得太多另外从设备上而言，由于采取电镀制作栅线，无需高精度的丝网印刷机进行二次对位。需要解决的问题是： (1
宽) 作为腐蚀阻挡层，在HF/HNO3腐蚀液中对掩膜外的重扩区域进行腐蚀形成浅结(约90/sqr); (2)掩膜制备和丝网印刷栅线之间具有二次定位系统，使栅线印刷在掩膜区域。此方案的优点是

距(约1mm)，在这样的线间距下，可扩散超过100/sqr的浅结，这样既提高了Voc和lsc，又能保证FF不会下降得太多另外从设备上而言，由于采取电镀制作栅线，无需高精度的丝网印刷机进行二次对位
/sqr)上打印与前栅线图案一样的有机材料掩膜(约300nm宽) 作为腐蚀阻挡层，在HF/HNO3腐蚀液中对掩膜外的重扩区域进行腐蚀形成浅结(约90/sqr); (2)掩膜制备和丝网印刷栅线之间具有

、铸锭炉、坩埚、生长炉、其他相关设备硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机
碲薄膜电池CdTe、染料敏化电池DSSC生产技术及研究设备 B、光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商、聚光电池等 C、光伏相关零部件：蓄电池

晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备
DSSC生产技术及研究设备 B、光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商、聚光电池等 C、光伏相关零部件：蓄电池、充电器、控制器、转换器、记录仪、逆变器

(PECVD) 工艺。而前表面SiNx ARC也同样是采用管式PECVD 工艺完成的。在进行激光电极开窗操作之后，采用丝网印刷和共烧结工艺完成金属电极制作。随后对所有完成烧结的多晶硅PERC
收益，实现了累加更优的效果。金刚线+黑硅+PERC将助推高效多晶组件跨越300瓦大关，成为高效多晶产品的主流。背景过去几年，多晶硅已经成为光伏行业的主流技术，占据了大部分的市场份额。然

结构如Fig.3-4a,Fig.3-4b为出现星形结构硅片的u-PCD扫描结果，Fig.3-4c、d为生产过程中出现滑移线的电池片EL图像。降低温度梯度减少热应力的产生是降低滑移位错产生的有效方法之一
电池片采用管式PECVD镀膜方式，在舟中两片电池片背靠背放置，由此可知电池片在镀膜过程中，其中一片脱落或破碎，导致此片电池背面被镀膜，背面由于氮化硅的存在，使得经过丝网印刷后电池片在烧结过程中无法形成

设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备电池板/组件生产设备：全套
生产线、测试设备、玻璃清洗设备、结线/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化电池DSSC生产技术及研究设备 B