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综合

FlexAL反应器进行AlOx薄膜沉积实验，使用三甲基铝和水蒸气作为前驱体。使用椭圆偏振光谱仪测试与实验样品同炉的监控硅片上生长的AlOx膜层厚度，在叠瓦样品上生长了两种不同厚度的AlOx薄膜：d1=7nm和
，通过在电池侧切面边缘镀一层钝化层来降低边缘处的有效边缘复合速度。“pSPEERPET”是PET工艺边缘钝化后的太阳能电池，如图1(b)。在本文中，PET工艺由两个步骤组成：太阳能电池激光切割后沉积