笔者采访了6月15~17日在京都举行的半导体元件技术国际会议“2009 Symposium on VLSI Technology”(以下称VLSI研讨会)。由于听闻不久前在美国举行的显示器展会“SID 2009”的大部分演讲会场都出现了明显的空座现象,笔者猜想到,VLSI研讨会也许会发生类似的情况。
VLSI研讨会开幕后,与会者人数的确少于往年,但会场仍与往年一样充满活力。笔者几乎每年都报道VLSI,此次直到最后一天也“没有感到乏味”。尽管开幕之前就报道了VLSI研讨会与往届的不同之处,但未感到乏味可能是由于以逻辑LSI为主的“新技术”的论文增加了的缘故。
就在2~3年前,大部分研讨会还都以应变硅及high-k/金属栅极等最近的技术为对象,到了会议后半期就会“令人乏味”。而此次从Ge到III-V族半导体、石墨烯及Post-CMOS元件,可谓应有尽有。是否能推出产品姑且不论,整个半导体产业在设法挖掘产业潜力的态度可略见一斑。
在此次允许持有“自由想法”的研讨会上,只有一场会议气氛比较压抑。那就是最后一天上午举行的NAND型闪存相关会议(Session10A)。共发表了4篇论文,其中3篇来自于市场份额居首位的韩国三星电子(Samsung Electronics)(其中一篇与美国加利福尼亚大学联名发表),另一篇则来自于该公司的竞争对手东芝,业界双雄难以决出胜负。之所以用“气氛压抑”来形容,是因为笔者感到,大多数NAND型闪存技术人员“完全看不清今后的技术发展趋势”。
NAND型闪存在几乎以一年半时间升级一代的速度实现微细化的同时,也在不断接近微细化的极限。目前的现状是,微细化会继续进行到什么程度,之后的技术方案是什么,“任何人都不是很清楚”(知名闪存厂商的技术人员)。三星的3篇论文充分考虑了这种情况。此次发表的技术都沿着三维方向重叠存储单元,达到微细化极限之后仍能进一步扩大容量。每位演讲者都极力强调,这些技术均比东芝在前一天举行的重点会议(Session7)上发表的三维NAND型闪存技术具有优势。在台下认真倾听的笔者也不禁兴奋起来,觉得演讲“十分有趣”。
笔者十分乐于报道半导体业界的信息,但08年发生雷曼事件以后,报道的都是令人心情沉重的新闻。这种情况下,在此次的VLSI研讨会上,至少技术开发现场使笔者产生了积极的想法,“半导体技术人员还有很多工作要做,报道这些信息的媒体同样有许多工作要做”。(记者:大下 淳一)