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电池性能，已在行业内实现大规模应用。▶ 中科院物理所研究员杜小龙目前，异质结电池等领域对低温TCO材料的需求旺盛，氧化铟基材料被认为是性能最佳的材料。通过基础研究和量产工艺的结合，团队成功突破了材料
和工艺上的一系列挑战，为降低成本、提高性能的TCO材料的应用提供了可能性。此外，在对氧化锌和氧化锡等非铟TCO新材料探索中，通过缺陷工程，团队成功抑制了Sn2+与Vo关联的吸收，显著提升了材料的光学和

解决方案微导纳米副董事长兼CTO 黎微明提问讨论环节/午餐/Session 2：异质结、钙钛矿技术专场（王文静主持）报告8：晶硅异质结电池用非铟TCO新材料探索中科院物理所研究员杜小龙报告9：HJT

。目前一线厂商单面微晶工艺电池效率约为25.5%，后续搭载双面微晶工艺可以提升至25.7%。此前，HJT阵营一直采用的是“三减”策略：减银、减栅线、硅片减薄，同时还有TCO优化、制绒优化、间隙贴膜等技术
银浆耗量的减少从而推动降本;另一方面，栅线细化以及栅线数量的增加，可以使主栅遮挡面积减少、电流收集路线变短，从而提升组件效率。另外，还有TCO优化、制绒面优化，组件端使用光转膜、间隙贴膜等等，都是可以

光斑刻蚀效果b 绿光飞秒大光斑刻蚀效果c 紫外飞秒大光斑刻蚀效果图4 TCO膜层绿光皮秒(a)、绿光飞秒(b)、紫外飞秒(c)刻蚀/非刻蚀区域成分分析对比图4 成分测试表明皮秒和飞秒激光都实现对目标膜
层的完全去除纳秒激光残留颗粒较多VS飞秒激光刻蚀表面无残留图5 TCO膜层绿光纳秒(a)、绿光皮秒(b)、绿光飞秒(c)、紫外飞秒(d)激光刻蚀效果对比图5 对比显示绿光纳秒刻蚀存在大量残留颗粒，紫外

电池效率。隆基绿能中央研究院副院长徐希翔在报告中介绍，隆基绿能自2021年开始异质结电池的研发，三年来六次刷新异质结电池的效率纪录，主要是通过提升钝化能力，纳米晶硅层掺杂，应用高透高导TCO，应用激光转印
、高杂质硅片及更薄的硅片;在电池端导入双面微晶、银包铜、0BB、无铟TCO等技术;在组件端使用光转膜、丁基胶等新材料。王文静介绍，目前华晟异质结技术已经发展至3.0阶段，电池量产平均效率达到25.4

等。异质结电池与钙钛矿叠层最为适配：1)目前主流晶硅电池中，仅异质结电池具备透明导电层 TCO，可与钙钛矿叠层完美适配，后续改造难度小，工艺流程简单，升级优化成本低;2)异质结电池的对称性结构
和钙钛矿直接接触的 p 型材料和 n 型材料也会随着钙钛矿配方的改变而相应调整，去形成良好接触。底电极一般采用 FTO，背电极可以是金属电极，也可以是透明氧化物(TCO)电极。狭缝涂布

用量或使用无铟TCO(透明导电氧化物)靶材。当前，在硅片厚度降本路径达成、0BB技术和银包铜技术的降本控制初见成效后，异质结电池对TCO靶材少铟、无铟的要求，成为了一项重要的降本举措。氧化锡铟(ITO
)是优质TCO靶材沉积TCO薄膜是异质结电池生产工艺的重要环节，TCO薄膜作为载流子的传输层，主要用于电池的载流子横向传输及对外电流运输。TCO靶材有多种材料，目前氧化锡铟(ITO)靶材占据主要

掺杂多晶硅薄层，形成较好的钝化接触结构;HJT电池通过本征非晶硅层与掺杂多晶硅薄层形成钝化接触结构。两者区别在于使用了不同的接触钝化材料，由于非晶硅需要PECVD设备沉积，同时使用TCO来增强导电性以及
原理上也是一个很好的技术，只不过目前HJT的降本压力更大一些，为降本需要解决的问题也多，比如银包铜浆料、TCO无铟化、电镀铜等等，希望能取得快速突破。光伏技术的百花齐放，才能促进光伏产业的快速健康发展

亿元。2017-2022年中国真空镀膜设备市场规模预测趋势图钙钛矿层薄膜制备方法钙钛矿层薄膜制备方法概览涂布与蒸镀技术对比钙钛矿整线其他层设备选择以最常用的反式电池结构(TCO-HTL-钙钛矿活性层
-ETL-电极)为例：透明导电氧化物(TCO)层：TCO 导电玻璃包括 ITO、FTO、AZO 镀膜玻璃，分别使用锡掺杂氧化铟(In2O3)、氟掺杂氧化锡(SnO2)和铝掺杂氧化锌(ZnO)作为