光伏咨询搜索-索比光伏网

的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下： 01、制绒清洗机：电池
非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03、物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04、丝网印刷机正面金属电极制备反面金属电极制备退火测试和分档

HELiA PECVD 及沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO)的HELiA PVD 设备来说，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤
非晶硅膜( i-a-Si:H )和p型非晶硅薄膜( p-a-Si:H)。 03、物理气相沉积(PVD) 沉积电池正反面的透明氧化物导电薄膜(TCO) 04、丝网印刷机正面金属电极制备反面

传输系统、HIT双面无翻转镀膜系统、HIT高迁移率TCO项目、高效臭氧清洗技术开发、高效HIT电池印刷技术开发等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。并在异质结双面组件开发，超大硅片(210/166) 组件开发、500W高效组件开发等组件产品研发方面在行业内取得一定成果。

和掺杂 P 型非晶硅薄膜，与硅衬底形成异质结，背面通过沉积 5-10nm 的本征非晶硅薄膜和掺杂 N 型非晶硅薄膜形成背表面场。在掺杂非晶硅薄膜表面沉积 TCO 透明导电氧化物薄膜，最后在正背表面
使用过程中不可避免地老化和损耗问题，制约了设备的 uptime，增加了设备的运行成本，目前松下的量产技术采用了 HWCVD 法。 TCO 主要改进在于沉积方法和材料。HIT 表面的 TCO 薄膜的作用

沉积(N 型)以形成发射极和背表面场、TCO 沉积以提供高导电率的电荷输运通道。异质结整个生产工艺主要为制绒、非晶硅薄膜沉积、丝网印刷、分选四个步骤。 3、降本空间大使用
。 3.1海外异质结设备成熟，量产转换效率达到 24% 异质结生产环节主要有 4 道工序，分别为 1)表面处理：制绒;2)非晶硅镀膜;3)TCO沉积和 4)金属化：丝网印刷

。需要从非晶硅界面钝化、TCO 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 CVD、PVD、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进
(异质结)电池产线外，还可应用于 OLED、钙钛矿电池等诸多领域。拆解异质结产线投资，其中非晶硅膜沉积及 TCO 镀膜占据研发实力及价值链制高点。其中，非晶硅镀膜 PECVD 及 TCO 镀膜的

光伏电池的发电结构，由于非晶硅薄膜横向导电性不好，如果直接在非晶硅薄膜上印刷电极，会有部分电流无法收集，所以还需要在非晶硅薄膜两侧沉积一层金属氧化物导电层，英文缩写是TCO，说的简单点就是一层透光性很好的
导电膜，最后在TCO上丝网印刷电极，再固化，光再生，就制成了HIT电池。因此从工序上来讲，HIT电池核心工序就4步，清洗制绒、非晶硅镀膜、沉积TCO、丝网印刷，是所有电池工艺中步骤最短的。 2

氧化物薄膜(TCO)，最后通过丝网印刷或电镀技术在电池两侧的顶层形成金属集电极，其结构具有对称性。 HJT电池转换效率已在晶硅光伏电池中位居前列：HJT电池量产之后，日本Sanyo/松下仍在持续研究
(PVD/CVD方式)实现短波长吸收(钙钛矿)和长波长吸收(HJT)的结合，其所应用的TCO膜层已然在异质结电池中采用，而在HJT单结中损失的蓝光可被上层钙钛矿收集利用。整体而言，HJT与钙钛矿在兼容性上有

核心设备为CVD+PVD HJT电池的一大优势是工艺简单，仅包括制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷四步，而PERC电池为了达到较高的转换效率，除了传统工艺流程外还要增加退火等工艺，复杂的工艺
也陆续推出CVD新产品，现阶段仍在试验中。 TCO镀膜设备：RPD设备商包括日本住友、台湾精耀，PVD设备商包括梅耶博格、应用材料、冯阿登纳、国内钧石等。现阶段采用PVD方式成膜的企业较多，主要

，并在电池顶部设计透明导电的TCO薄膜：(1)非晶硅层可有效降低表面悬挂键的密度，从而达到良好的界面钝化作用;(2)TCO薄膜可以实现导电、减少反射、同时保护非晶硅薄膜等重要作用。HJT电池具有开路
、TCO膜沉积是HJT生产核心步骤，PECVD和PVD国产化、规模化将推动降本。HJT电池生产设备与常规电池的兼容性较差，新建项目需要重新投入生产线。制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积

工艺开发的低温银浆，其要求是： ①电极成型温度低于200℃ ②电极体电阻率低于10-5cm ③该电极无需与硅形成欧姆接触，但与TCO导电层的接触需足够低 ④可以经受电池串焊时200-350℃的
银粉选择，还要考虑与TCO膜的接触电阻和电极互联后的焊接拉拔力。 ②有机体系开发：HJT银浆需同时满足印刷的墨性要求和固化工艺要求，相比于高温烧结银浆的有机体系，可谓用量更少、作用更大。首先，因为要