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、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进HJT整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降，Solarzoom预计2022年设备成本有望降至3亿元/GW
、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产产线基本实现了HJT设备的国产化替代。从目前量产产线的招标设备情况看，国内的

沉积、电极金属化四个步骤，分别对应的制绒清洗、PECVD、PVD/RPD、丝印/电镀四道工艺设备。随着迈为、捷佳及钧石等国内设备厂商积极推进 HJT 整线设备产业化，带动核心设备价格持续下降
、PECVD、 PVD/RPD、丝印/电镀四道设备。目前国内试产及量产产线基本实现了 HJT 设备的国产化替代。从目前量产产线的招标设备情况看，国内的迈为股份、捷佳伟创、钧石能源等厂商整线化布局

，银包铜技术从理论上是可行的。相比其他较成熟的perc电池，它的成本优势充分的表现出来。靶材方面，目前在PVD和RPD都是非常可观的，长沙壹纳在导电材料领域深耕了25年。梳理了产品实现的底层逻辑和
的5亿元，今年有望降低至4亿元左右。壹纳光电作为国内目前唯一能同时批量供应异质结PVD和RPD用TCO靶材的合格供应商长沙壹纳光电材料公司，根据第一性原理来梳理产品实现的底层逻辑，对TCO材料成分

更低，长期来看代表未来电池技术的发展方向。异质结电池制备主要涉及四大设备，分别是清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备，在设备投资额占比分别约 15%、50%、20%和
15%。目前国产设备厂商已快速崛起，纷纷布局 PECVD 等核心设备，将成为行业突破口。影响设备投资额的因素为三个：一是设备配置，如TCO制备选择RPD还是PVD;二是采取进口还是国产方案

进行展望，异质结设备的国产玩家越来越多，设备的腔体越做越大，预计2021年单GW投资额有望降至3.5亿元以下;同时随着IINP、RPD、光注入设备的推广，异质结量产转换效率亦有望持续提升。二
将持续挖掘，这也是我认为2021年异质结设备单GW投资额降至3.5亿元以下的重要原因。三 RPD：异质结提效的关键效率将成为异质结制造企业竞争的关键指标，TCO设备重要性逐步提升。TCO设备的

、迈为股份、钧石、理想万里晖、金辰股份均在PECVD有布局，但技术的细节方向上有所不同。 ►透明导电膜沉积：我们估计该阶段的设备价值量占比达到25%。目前沉积TCO存在RPD(反应等离子体沉积)和PVD
(物理化学气相沉积)两种路线。RPD与PVD的区别在于：1)RPD工艺采用蒸发镀膜法制备IWO导电薄膜(氧化铟掺钨)，对硅衬底的轰击较小，薄膜导电性好，有望制备更高效率的电池，但缺点在于设备价值量更高

%，二代线预计是97%。后续的扩产我们是根据客户的需求来进行，行业目前还是以一代技术来扩产。对于一些新进入者，可能会直接选择二代技术，单GW6亿的投资额。 10.RPD与PVD对比 PPD只要
第三个基地的一期，再完成6GW。未来整体的规划达到18GW。 2、长兴基地目前的进展长兴1线主要是用进口设备，YAC制绒+应材的CVD+捷佳的RPD+应材的丝网。爱康目前量产的量还不是很大，产线的匹配

%，Kaneka的背接触式异质结电池达26.70%。捷佳伟创自主研发的二合一设备PAR5500，正面采用新型RPD，背面采用PVD，完美整合为一台设备与一套自动化，符合大产量异质结电池的量产，达到每小时5500片的
HJT设备成本可达4.8亿元/GW，2025年设备降本将至4亿元/GW。从HJT原材料成本分析来看，RPD靶材在2019年经过批量国产和验证后成本大幅降低，在经过规模化生产后成本有较大的下降空间，预计