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，虽然每瓦的成本较多晶硅高，主要原因是制造HIT电池是使用单晶硅，另外主要设备PECVD及PVD均需重新采购，庆幸的是，这两种重要设备目前均能在本土制造，与过去多晶硅的生产设备均由欧美制造完全
代工厂商指定使用日本之生产设备，即如当年德国以政府补助之方法来购买太阳能电池，但要求台湾厂商使用德国生产之设备，并且要求以其检验之标准来验收，如此将无法藉此扶持台湾本土的PECVD及PVD设备产业

Amber 物理气相沉积（PVD）系统，突破了连接芯片上数十亿晶体管电路的互连技术极限。该系统采用了革命性的铜回流技术，是唯一被证明能够在1X纳米技术节点无空隙填充铜结构的单腔体解决方案，它曾是先进逻辑和
节点以下互连的微缩，又能保持良好的产品成品率。应用材料公司通过能够在几乎任何器件技术节点上实现快速、无空隙互连结构填充的独特系统拓展了其业界领先的PVD技术。客户对该设备产生了巨大的反响，有30多个

SIMvzw的分公司Flamac表示他们将同imec合作开发光伏电池应用的新型半导体材料。此次合作生产的是标准CIGS光伏电池的替代材料。Flamac将继续改进PVD/PE-CVD镀膜技术，能自动
处理不同的薄膜材料。该技术有8个工艺室，据说更适合研究PVD和PE-CVD喷涂工艺。Imec负责继续研究光伏电池，目的是改进效率和不同技术的生产能力，包括硅基光伏电池和薄膜光伏电池。Imec的能源项目

，科林研发(LamResearch)也迅速购并诺发(Novellus)，先后创下近5年来设备业两大购并案；业界分析，科林之前发展CVD(ChemicalVaporDeposition)和PVD
。业界进一步分析，诺发的强项是太阳能薄膜电池设备CVD化学气相沉积制程和太阳能薄膜制备设备PVD物理气相沉积制程，科林之前一直要自己开发CVD和PVD技术，但并结果并未如预期顺利，因此直接买下诺发是

。此外，泵组也可以水平安装，从而可以显著地降低系统的高度。由于新品研发和试生产的需要，著名的UNIVEX系列PVD真空镀膜系统提供给客户多种腔室容积的外形选择，包括不锈钢钟罩型、箱型和团簇型