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实现薄膜沉积。PVD 技术的优势在于设备成本较低，成膜均匀性更好，镀膜工艺稳定，能够满足大规模产业化需求，但由于等离子体中包含大量高能粒子，会对基板表面产生强烈的轰击刻蚀作用。而 RPD 技术的
，RPD 方法还具备低沉积温度、高速生长等优点，缺点在于设备成本较高。 PVD 为当前 HIT 主流方向，成本下降后 RPD 优势有望显现。从效率上看，RPD 效率相比使用 ITO

凭借强大创新力、出色的品质与服务、卓越的品牌影响力，撷取最具影响力设备企业大奖。本届盛典邀请了中国光伏行业协会秘书长王勃华、原国家发改委能源研所原研究员王斯成、中山大学教授沈辉、工信部中国绿色
内口碑，充分听取各领域专家、学者意见，并广泛调研行业上下游反馈。获奖企业介绍北京捷造光电技术有限公司成立于2010年，致力于真空应用技术的开发与产业化推广，在PVD(磁控溅射、有机及金属共蒸发

异质结是光伏行业的第五次技术革命。相较于传统电池，异质结电池生产工艺步骤大幅减少，主要工艺仅4步，分别为制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO制备、电极制备，对应设备为制绒机、HWCVD/PECVD
、PVD/RPD、丝网印刷+烧结炉。异质结电池优势 ◼ 最简洁4步工艺流程 ◼ 最高转换效率 ◼ 最低温度系数 ◼ 最佳双面效益 ◼ 无光致衰减(LID) ◼ 无电位衰减(PID

技术路线并进。TCO 沉积在异质结电池沉积工艺的后半部分，通过沉积 TCO 膜作为减反层和横向输运载流子至电极的导电层。一般 TCO 沉积在 PVD 设备中通过溅射的方式完成。捷佳伟创和 Archers
则选择的是反应等离子RPD 技术路线。RPD 和双面进行薄膜沉积的 PVD 技术路线相比，采用自下而上的单侧沉积技术，关键设备是等离子枪。多厂商前期布局，量产转换效率突破

平台表示，目前公司全资子公司上海北玻镀膜技术工业有限公司(以下简称北玻镀膜)具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力，该项目尚处于开发阶段。鉴于特斯拉的鲶鱼效应，投资者的热情就此爆发。2月12日
相关专利技术、最近两年研发投入、研发人员数量、营收及净利润等说明北玻镀膜具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力的依据、项目的进展情况、后续研发情况、是否具备投产能力，并充分提示风险。回复函中，北

。需要从非晶硅界面钝化、TCO 光吸收损失、金属化电阻损耗三方面进行努力，对应的工艺流程为 CVD、PVD、丝印三个步骤。这个三大难点克服，不仅仅是工艺的问题，还涉及到设备和材料的配套和改进
，这种透光导电膜设备设计独特，相对传统的 PVD 设备具有表面损伤少、载子迁移速度高等技术优势，对于 HJT(异质结)电池转换效率的提升具有较大的贡献。RPD设备应用广泛，除应用于 HJT

要求北玻股份结合北玻镀膜的基本情况、财务指标以及研发实力，说明北玻镀膜具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力的依据，项目进展情况，后续研发情况，是否具备投产能力，并充分提示风险。 2月19日
投资者时称，目前公司全资子公司上海北玻镀膜技术工业有限公司(以下简称北玻镀膜)具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力，该项目尚处于开发阶段。公司管理部对此表示高度关注，要求北玻股份认真核查以下事项并

光伏电池生产技术。此外，北玻股份(证券代码：002613.SZ) 1月9日在互动平台上表示，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD、丝网印刷机。公司全资
子公司上海北玻镀膜技术工业有限公司具备制造符合HIT工艺的PVD镀膜设备能力，该设备应用于ITO双面镀膜，不过目前该项目尚处于开发阶段。

企业已经在引进进口线，行业先驱已经在行动了。具体来讲，HIT主要生产工序有4步，对应4种专业设备，依次是清洗制绒机、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和
成熟，YAC目前也在推进中国本土制造，国产捷佳伟创正在积极研发，已经有数台机器出货。PVD国内宏大和红太阳有出货，丝网印刷机迈为等已经做的非常成熟，捷佳伟创、金辰股份也有供货能力。当前1GW进口设备价格

良好、基本无光衰、双面率高等多方面优点。近期随着试验产品转换效率逐步提升及制造设备降成本取得一定进展，产业内对HJT电池产线的投资热情逐步提高，目前全球已有约5GW量产与试验产能。高转换效率与强
成本下降至0.4-0.5元/W的临界范围时，其相对于目前主流单晶PERC电池的性价比优势有望逐步显现，从而有望实现对主流路线的替代，行业产能或复制单晶PERC路线的扩张进程。电池设备方面推荐迈为股份

核心设备为CVD+PVD HJT电池的一大优势是工艺简单，仅包括制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷四步，而PERC电池为了达到较高的转换效率，除了传统工艺流程外还要增加退火等工艺，复杂的工艺
也陆续推出CVD新产品，现阶段仍在试验中。 TCO镀膜设备：RPD设备商包括日本住友、台湾精耀，PVD设备商包括梅耶博格、应用材料、冯阿登纳、国内钧石等。现阶段采用PVD方式成膜的企业较多，主要

、TCO膜沉积是HJT生产核心步骤，PECVD和PVD国产化、规模化将推动降本。HJT电池生产设备与常规电池的兼容性较差，新建项目需要重新投入生产线。制造工艺流程主要包括：清洗制绒、非晶硅薄膜沉积
、TCO膜沉积、电极金属化。当前，HJT单GW设备投资额大约为8-10个亿，大概是PERC投资的2.5-3倍左右，未来设备国产化后，设备投资将逐步减少40%以上，有望降低至5-6亿元;如果进一步规模化，降低

，镀釉，光伏LED产品已经全面推向市场。瑞科官网显示，其光伏研发中心位于美国硅谷，毗邻全球领先光伏巨头，具有丰富的资源优势。瑞科已研制出拥有自主知识产权的核心真空镀膜设备，其中GVD、PVD
-2018年，龙焱先后引入浙能创投和深圳致远两家省级国资背景股东。值得注意的是，目前龙焱的产能虽然只有120MW，但其光伏制造设备却全部实现了国产化，原材料也全部来自国内。这不仅大大降低了碲化镉组件制造

，HIT电池设备的单机产能相对较低，清洗机、PVD、丝网印刷机单机产能大约在200MW/台左右，PECVD只有100MW/台左右的产能。单机产能低是目前HIT电池投资较高的主要原因之一。通过做大
单机产能，其成本提升相对较低，能够有效降低设备成本。例如，VonArdenne公司的PVD设备，单机产能从160MW/台提升至250MW/台，产能提升56.3%，售价仅提升12.5%，单位投资额降低

、PECVD、PVD/RPD、丝网印刷机。其中壁垒最高的是PECVD，海外梅耶博格和应用材料的设备比较成熟，但价格比较昂贵;国内钧石和理想有供货能力。清洗制绒机目前日本YAC比较成熟，YAC目前也在推进
中国本土制造，国产捷佳伟创正在积极研发，已经有数台机器出货。PVD国内宏大和红太阳有出货，丝网印刷机迈为等已经做的非常成熟。回顾光伏产业发展历史，往往是头部企业引进国外成熟设备

成本，现在正在考虑使用称为狗骨靶材的新材料。这种靶材可以降低靶材消耗，从而进一步降低电池生产成本。我们已经做了一些额外的改进工作，其中包括对物理气相沉积(PVD)托盘进行优化，同时修改接触电极网格的设计以
)。在关闭薄膜生产线后不到两年的时间内，平均电池效率达到了22.8%(最高效率超过23.5%)，使大规模平均60片组件功率提升到318W(最大组件功率甚至达到328W)。致谢作者希望感谢他们的设备供应商对Hevel生产线设备给予的支持，以及Skolkovo基金会对使用其实验室设备的资助。