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POCl3作为磷源，BBr3作为硼源。金属化孔洞填充存在的问题是经过高温烧结后很难形成连续的通道，所以EWT要求孔洞中进行重扩降低接触电阻，并以此来作为电流传输的通道。现在量产MWT和EWT通常采用的是
时还可用Al-P共扩散的方法，与传统方法一样都是要先用激光打孔，在电池背面同时用丝印的方法印上有P和Al的叉指电极，面积比约为1∶1，然后一起放进烧结炉里进行烧结，这样可大大节省工艺步骤，但是由于激光

POCl3作为磷源，BBr3作为硼源。金属化孔洞填充存在的问题是经过高温烧结后很难形成连续的通道，所以EWT要求孔洞中进行重扩降低接触电阻，并以此来作为电流传输的通道。现在量产MWT和EWT通常
。另外，制备EWT电极时还可用Al-P共扩散的方法，与传统方法一样都是要先用激光打孔，在电池背面同时用丝印的方法印上有P和Al的叉指电极，面积比约为1∶1，然后一起放进烧结炉里进行烧结，这样可大大节省工艺

经过高温烧结后很难形成连续的通道，所以EWT要求孔洞中进行重扩降低接触电阻，并以此来作为电流传输的通道。现在量产MWT和EWT通常采用的是湿法扩散，扩散浓度越高其表面的方块电阻就会相应减小，如果衬底是
，在电池背面同时用丝印的方法印上有P和Al的叉指电极，面积比约为1∶1，然后一起放进烧结炉里进行烧结，这样可大大节省工艺步骤，但是由于激光损伤和表面没有钝化，使得表面复合略显增加而且效率也只有10

中的难点包括P+扩散、金属电极下重扩散以及激光烧结等。转换效率为19.3％的太阳能电池模块。IBC电池的工艺流程大致如下：清洗-》制绒-》扩散N+-》丝印刻蚀光阻-》刻蚀P扩散区-》扩散P+-》减反射
镀膜-》热氧化-》丝印电极-》烧结-》激光烧结。MWT电池结构一般情况下发射极接触电极和基极接触电极分别配置在传统的硅基太阳能电池片的正反两面。由于电池的正面被接触发射极的金属栅线电极所覆盖，由此遮蔽

难点包括P+扩散、金属电极下重扩散以及激光烧结等。转换效率为19.3%的太阳能电池模块。IBC电池的工艺流程大致如下：清洗-制绒-扩散N+-丝印刻蚀光阻-刻蚀P扩散区-扩散P+-减反射镀膜-热氧化-丝印
电极-烧结-激光烧结。MWT电池结构一般情况下发射极接触电极和基极接触电极分别配置在传统的硅基太阳能电池片的正反两面。由于电池的正面被接触发射极的金属栅线电极所覆盖，由此遮蔽阳光而造成一部分光学损失

实现了电池正面零遮挡，增加了光的吸收和利用。但制作流程也十分复杂，工艺中的难点包括P+扩散、金属电极下重扩散以及激光烧结等。转换效率为19.3％的太阳能电池模块。 IBC电池的
工艺流程大致如下：清洗-制绒-扩散N+-丝印刻蚀光阻-刻蚀P扩散区-扩散P+-减反射镀膜-热氧化-丝印电极-烧结-激光烧结。 MWT电池结构

。替代金属的挑战从上述讨论可得出结论，Ag的合适替代品有Cu和Al。硅片太阳能电池中用Cu或Al作为指电极存在一系列挑战：1)抗氧化：Ag在各种温度下是抗氧化的。这保证了接触烧结(一般是750
℃)后有低电阻金属指形电极。在这一温度下，Cu氧化成高电阻p型半导电的Cu2O和CuO，而Al部分氧化为绝缘的Al2O3。二者均会显著增加指电极电阻。Cu或Al指电极的烧结也许不得不在无氧环境下进行。2

：Ag在各种温度下是抗氧化的。这保证了接触烧结（一般是750℃）后有低电阻金属指形电极。在这一温度下，Cu氧化成高电阻p型半导电的Cu2O和CuO，而Al部分氧化为绝缘的Al2O3。二者均会显著增加指
电极电阻。Cu或Al指电极的烧结也许不得不在无氧环境下进行。2）阻挡层：Cu和Al二者要求与Si的阻挡层，由于各种不同的原因，Al能与Si直接接触。因为它是Si中的p型杂质，必须避免Al与n型发射极合金

cristianSchmiga表示。在研究硅铝合金发射极n型硅太阳能电池的过程中，弗劳恩霍夫太阳能系统研究所的研究人员已经取得了19.3%的转换效率。研究人员使用网印铝浆结合短时间高温烧结的工艺形成发射极
。而采用硼扩散发射极的n型太阳能电池在增加了一层氧化铝之后，转化效率高达19.6%。而采用磷扩散的p型太阳能电池在使用了激光电极烧结(LFC)技术后效率也达到了19.6%。以上几种测试的电池均采用