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：PERC 技术在常规 BSF 电池基础上增加背面钝化层沉积和激光开槽两道工序，此外，针对背部抛光需对基于化学湿台的边缘隔离步骤稍作调整，即可实现传统 BSF 电池产线向 PERC 产线的升级
覆盖一层氮化硅膜作为保护层。为使背面金属电极与硅形成良好的欧姆接触，需要对钝化层进行刻蚀，目前主流工艺采用激光开槽的方式来完成这一工序。 PERC 技术日趋成熟

环境的影响，目前，其材料的气相沉积也使用到了激光加工技术。由此可见，激光加工技术已经成为生产硅太阳能电池的最可靠的工具。
光伏生产最重要的就是电池制造。硅电池在光伏发电中有重要作用，无论是晶硅电池还是薄膜硅电池。在晶硅电池中，由高纯度的单晶/多晶切成电池用的硅片，利用激光来精确地切割、成型、划线，制成电池后再组串

抛光⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结⑥ PECVD 正面镀膜⑦ PECVD 背面镀膜⑧激光开槽⑨印刷烧结测试⑩电注入退火。相对黑硅多晶太阳电池的制备，增加了步骤④、⑤、⑦、⑧、⑩。 02结果讨论 2.1
，随着膜厚增加，样品的少子寿命退化，由此推测印刷氧化铝膜厚差异会影响少子寿命的稳定性。 2.3 黑硅PERC 多晶太阳电池的电性能分析镀膜钝化后的硅片进行激光开槽，使用PERC 经印刷烧结

沉积设备(PECVD 设备或 ALD 设备)和激光开槽设备即可。 PERC 核心产品为 PECVD 设备、丝网印刷等。其中，捷佳伟创的核心产品 PECVD 设备和扩散炉均为自主研发，采用的核心技术
钝化镀层与钝化层激光开槽两道工序。其中背面钝化镀层包括氧化铝镀层与氮化硅镀层，市场中存在两种技术路线，一是采用 PECVD+PECVD 两台设备，代表厂商为捷佳伟创;二是用

海外市场超预期增长。因此，从硅料到硅片到PERC高效电池以及组件的需求都可能再超预期。在需求扩张中伴随着的技术进步与升级，将给电池等装备产业带来繁荣。 5.投资建议。重点关注电池环节公司，捷佳伟创
PERC升级。技术路线与增加装备系统介绍。PERC的具体实现路径上，主要有PECVD(等离子增强化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)两种路线，还有一种可理解

2021 年，伴随MWT、半片、叠瓦等高效太阳能电池工艺技术水平的提高，高效太阳能电池激光加工设备的市场总量有望超过 58 亿元。捷佳伟创的半导体掺杂沉积光伏设备业务营收最高，为9.01亿元
净利润亏损0.64亿元之外，其余企业净利润区间在0.51至4.72亿元，晶盛机电净利润最高，达4.72亿元;大部分企业实现了净利润正向增长，帝尔激光净利润同比增长93.46%。作为企业较为重要的

电池仅需要增加两台额外的设备(氧化铝沉积和激光设备)就可以对原有的常规生产线进行升级，因此成为了高效太阳能电池的主流方向。 2、判断到 2019 年底我国 PERC 电池产能有望达到
按照光伏电池片的材质，太阳能电池大致可以分为两类，一类是晶体硅太阳能电池，包括单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池;另一类是薄膜太阳能电池，主要包括非晶硅太阳能电池、碲化镉太阳能电池以及铜铟镓硒

)电池片：电池片经历了从BSF到PERC到HIT的三代技术进步。当前二代PERC为主流工艺，带来背钝化沉积和激光设备新需求，而HIT为全新工艺路线技术，预计将带来设备格局的重大改变; 3)组件
)硅片：该环节设备包括前道长晶设备和后道切片设备，前道设备主要有单晶硅生长炉(拉棒)和多晶硅铸锭炉(铸锭)，工艺较为稳定，大硅片是主攻方向;后道设备有切片机和金刚线，未来薄片化切割为发展趋势; 2

，PERC 电池仅需要增加两台额外的设备(氧化铝沉积和激光设备)就可以对原有的常规生产线进行升级，因此成为了高效太阳能电池的主流方向。 2、判断到 2019 年底我国 PERC 电池产能有望达到
按照光伏电池片的材质，太阳能电池大致可以分为两类，一类是晶体硅太阳能电池，包括单晶硅太阳能电池、多晶硅太阳能电池;另一类是薄膜太阳能电池，主要包括非晶硅太阳能电池、碲化镉太阳能电池以及铜铟镓硒

万元。资料显示，捷佳伟创是一家国内领先的从事晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及
技术(+1320%至1557%)、茂硕电源(+537%至750%)、嘉寓股份(+543%至552%)、东方日升(+280%至308%)等4家;超过100%的企业则再增加帝尔激光1家。从业绩净利亏损

为1，411.18万元。资料显示，捷佳伟创是一家国内领先的从事晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等
富技术(+1320 %至1557%)、茂硕电源(+537%至750%)、嘉寓股份(+543%至552 %)、东方日升(+280%至308%)等4家;超过100%的企业则再增加帝尔激光1家。从业

万元。资料显示，捷佳伟创是一家国内领先的从事晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及
技术(+1320%至1557%)、茂硕电源(+537%至750%)、嘉寓股份(+543%至552%)、东方日升(+280%至308%)等4家;超过100%的企业则再增加帝尔激光1家。从业绩净利亏损

湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用PECVD在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合Si薄膜。钝化性能需通过后续退火过程激活，Si薄膜在该退火过程中结晶性发生变化，由微晶
本文摘要在晶体硅太阳能电池中，金属-半导体接触区域存在严重的复合，成为制约晶体硅太阳能电池效率发展的重要因素。隧穿氧化层钝化金属接触结构由一层超薄的隧穿氧化层和掺杂多晶硅层组成，可以显著降低金属