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综合

，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。　　（6）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须
将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出，即完成一次生长周期。　　单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片　　加工流程：　　单晶