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晶片系统（8英寸），系统的示意图可见图1。等离子室有过模圆柱形微波腔、一端开口。2.45GHz微波通过工作在TE11模式的圆柱波导引入腔内。腔室用大型电磁铁围绕，产生静态的发散轴向磁场，如图1所示。晶片
硅(Si:H)薄膜。衬底厚度是200m。淀积参数如下：衬底温度170℃；源气体：硅烷(SiH4)，氢 (H2)，二硼烷（B2H6）；SiH4流量1sccm；总气体压强10 mTorr；微波功率600W

已测试了太空设备，这是开发收集能量并通过微波或激光将其送回地球的太阳能电池板的第一步。最初，这些小型人造卫星并不能取代普通发电厂，却能为灾区或难以到达的偏远地区迅速提供电力。太阳能卫星：这些研究人员的
目的是建造一群一天内可为整座城市提供电力的人造卫星。最初，这些小型人造卫星并不能取代普通发电厂，却能为灾区或难以到达的偏远地区迅速提供电力。地球上的一个接收器会把精确定位的微波或激光束变成可用电源。在

试验为绿色能源的可行性带来希望。英国斯特拉思克莱德大学研究人员已测试了太空设备，这是开发收集能量并通过微波或激光将其送回地球的太阳能电池板的第一步。　　这些研究人员的目的是建造一群一天内可为整座城市提供
电力的人造卫星。最初，这些小型人造卫星并不能取代普通发电厂，却能为灾区或难以到达的偏远地区迅速提供电力。地球上的一个接收器会把精确定位的微波或激光束变成可用电源。　　在太空安置太阳能电池板的想法是一个

SPS-ALPHA的太阳能发电卫星外形酷似一只巨大的鸡尾酒杯，由数千个可以转动的薄曲面镜和可将太阳能转化成微波的太阳能板组成。之后，这些微波将从鸡尾酒杯的底部传送回地球。在NASA官方网站上的相关报道中，曼金
清楚有多少能量能够从遥远的太空传送回9300万英里（约为1.5亿公里）之外的地球，待到这种把太阳能转化成微波、并传送回地球的方法付诸实施后，这一问题或许才能有答案。有消息称，在美国展开此项研究的同时，一批日本企业和日本宇宙航空开发机构也计划在20年内发射太阳能空间站。

巨大的鸡尾酒杯，由数千个可以转动的薄曲面镜和可将太阳能转化成微波的太阳能板组成。之后，这些微波将从鸡尾酒杯的底部传送回地球。在NASA官方网站上的相关报道中，曼金斯称这项工程是太空太阳能发电领域的一个
回9300万英里（约为1.5亿公里）之外的地球，待到这种把太阳能转化成微波、并传送回地球的方法付诸实施后，这一问题或许才能有答案。有消息称，在美国展开此项研究的同时，一批日本企业和日本宇宙航空开发机构也计划在20年内发射太阳能空间站。