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，坐稳业界量产技术和制程领域的领先地位。金刚线多晶无疑是多晶必要的路径之一。但过于光亮的硅晶圆片会让电池片外观产生线痕问题、也会因更高的反射率而降低转换效率，故须再多加一道表面蚀刻的制程处理，业界普遍
，MCCE）。除了能解决外观问题之外，从转换效率的角度探讨，多晶电池片因表面反射率高，故多晶效率的提升主要能以降低光反射率为主。黑硅技术能形成奈米级的凹坑，提升入射光的捕捉，故在硅晶圆端降本、电池片端提效

技术和制程领域的领先地位。金刚线多晶无疑是多晶必要的路径之一。但过于光亮的硅晶圆片会让电池片外观产生线痕问题、也会因更高的反射率而降低转换效率，故须再多加一道表面蚀刻的制程处理，业界普遍称之为
)。除了能解决外观问题之外，从转换效率的角度探讨，多晶电池片因表面反射率高，故多晶效率的提升主要能以降低光反射率为主。黑硅技术能形成奈米级的凹坑，提升入射光的捕捉，故在硅晶圆端降本、电池片端提效两方面

，坐稳业界量产技术和制程领域的领先地位。金刚线多晶无疑是多晶必要的路径之一。但过于光亮的硅晶圆片会让电池片外观产生线痕问题、也会因更高的反射率而降低转换效率，故须再多加一道表面蚀刻的制程处理，业界普遍
，MCCE）。除了能解决外观问题之外，从转换效率的角度探讨，多晶电池片因表面反射率高，故多晶效率的提升主要能以降低光反射率为主。黑硅技术能形成奈米级的凹坑，提升入射光的捕捉，故在硅晶圆端降本、电池片端提效

电阻损耗、减小载流子复合几个方面着手。 (1)减小入射光反射率：又可分成表面绒面织构化和减反射膜两个方面。表面绒面织构化最典型的应用就是碱制绒制备单晶硅电池的金字塔绒面结构。采用选择性腐蚀NaOH溶液
，利用腐蚀液对各个晶面腐蚀速率的不同，形成非均匀腐蚀，在硅表面形成类似金字塔形状的绒面，如图2A。制得绒面的反射率可达到10%左右。依靠表面金字塔形的绒面结构，对光进行多次反射，不仅减少了反射损失

载流子复合几个方面着手。 (1)减小入射光反射率：又可分成表面绒面织构化和减反射膜两个方面。表面绒面织构化最典型的应用就是碱制绒制备单晶硅电池的金字塔绒面结构。采用选择性腐蚀NaOH溶液，利用腐蚀液
对各个晶面腐蚀速率的不同，形成非均匀腐蚀，在硅表面形成类似金字塔形状的绒面，如图2A。制得绒面的反射率可达到10%左右。依靠表面金字塔形的绒面结构，对光进行多次反射，不仅减少了反射损失，而且改变了光在

方面着手。（1）减小入射光反射率：又可分成表面绒面织构化和减反射膜两个方面。表面绒面织构化最典型的应用就是碱制绒制备单晶硅电池的金字塔绒面结构。采用选择性腐蚀NaOH溶液，利用腐蚀液对各个晶面腐蚀速率
的不同，形成非均匀腐蚀，在硅表面形成类似金字塔形状的绒面，如图2A。制得绒面的反射率可达到10%左右。依靠表面金字塔形的绒面结构，对光进行多次反射，不仅减少了反射损失，而且改变了光在硅中的前进方向

表面复合。利用场发射扫描电子显微镜、分光光度计和量子效应测试仪分别对黑硅的表面结构、反射率和内量子效率进行了研究。研究结果表明，黑硅表面小山峰的数量和高度随着刻蚀时间的增加而降低；黑硅表面反射率随着
/cm2，比传统的酸制绒多晶硅太阳能电池的效率高0.72%。引言降低硅片表面反射率增加光吸收是多晶硅太阳能电池提高转化效率的一个重要方向。沉积减反射层（如SiNx）是一种可以有效减反射的方法，但

的是镀减反膜的钢化玻璃，尽量增加光吸收，减少反射从而增加发电效率，不存在光反射或光污染。传统的幕墙玻璃或汽车玻璃反射率在15%或者以上，而一线组件厂家的光伏玻璃反射率在6%以下。因此大大低于其他行业
玻璃的光反射率，从而不存在光污染。 5、多晶硅和单晶硅光伏电池的区别？答：单晶硅光伏电池组件转换效率（16%）高，稳定性好，但是成本较高。多晶硅电池成本低，光伏组件转换效率（15%）略低于单晶硅

燃起。虽太阳能业界探讨金刚线切多晶硅片已行之有年，但过于光亮的硅片会让电池片外观产生线痕问题、也会因更高的反射率而降低转换效率，故须再多加一道表面制绒的工艺处理，业界普遍称之为黑硅技术。其中又以干法制绒的
之外，从转换效率的角度探讨，多晶电池片因表面反射率高，故多晶效率的提升主要能以降低光反射率为主。黑硅技术能形成奈米级的凹坑，提升入射光的捕捉，故在硅片端降本、电池片端提效两方面都同时兼顾。而RIE技术

。图1 反射种类图2 反射率与入射角度 反射率除了与材料的折射率有关系，还与入射光线的入射角度有关系。二、图形分析花纹：四角花型、六角、圆形花
型是比较常见的。不同的花型和花型角度的花纹在光学性能的表现是不一样的。图3 六边型花纹图4 六边型微观形貌 BRTD：双向反射率测试

包括2个方面，光学损耗和硼氧复合损耗。光学损耗产生的差异主要为单多晶电池产品的制绒工艺是不同的，反射率的差异性比较大;B-O复合损耗的差异为单多晶原料片生长工艺不同，单晶原料过程中引入的硼氧对要多于多晶
单晶电池的光谱响应QE要远远好于多晶电池片的光伏响应。一方面是因为单晶电池片的效率要高于多晶电池片，其次单晶多晶的制绒不同，多晶由于晶界分布不规则，采用酸性制绒，为各向同性腐蚀，制绒后反射率在25%左右

。光学损耗产生的差异主要为单多晶电池产品的制绒工艺是不同的，反射率的差异性比较大；B-O复合损耗的差异为单多晶原料片生长工艺不同，单晶原料过程中引入的硼氧对要多于多晶原料。本文设计实验主要针对以上两点
于多晶电池片，其次单晶多晶的制绒不同，多晶由于晶界分布不规则，采用酸性制绒，为各向同性腐蚀，制绒后反射率在25%左右，单晶晶界排列规则，采用碱性制绒，为各向异性腐蚀，制绒后反射率为10%左右。这些决定了

差异主要为单多晶电池产品的制绒工艺是不同的，反射率的差异性比较大;B-O复合损耗的差异为单多晶原料片生长工艺不同，单晶原料过程中引入的硼氧对要多于多晶原料。本文设计实验主要针对以上两点进行实验设计，分析
，其次单晶多晶的制绒不同，多晶由于晶界分布不规则，采用酸性制绒，为各向同性腐蚀，制绒后反射率在25%左右，单晶晶界排列规则，采用碱性制绒，为各向异性腐蚀，制绒后反射率为10%左右。这些决定了单晶和