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清洗去除硅片表面微粉、金属离子等，最终获得表面清洁的硅片的工序。3.7电池工序通过在晶体硅片表面腐蚀制绒、扩散或离子注入形成PN结、沉积减反射膜以及制备金属电极，形成将太阳辐射能直接转化成电能的光伏器件
(kwh)；统计期内单晶棒产量，单位为千克（kg）。单晶工序实际耗电包括单晶炉、真空泵等生产系统耗电量，车间内照明、冷却塔、制冷机、换热器、空压机、干燥机、空调设备、排风设备、环保设备、循环泵、采暖设备

（PECVD）沉积多层非晶硅层以钝化硅片的表面，这在元器件的性能表现方面起到至关重要的作用。使用精曜科技的PECVD设备在160um厚的绒面常规n型CZ硅片表面沉积5nm厚的非晶硅钝化层，我们得到了非常低的
同样沉积本征钝化层（i）并堆叠掺磷的（n）层。钝化效果通过镀在刻蚀方向为100的绒面CZ硅片上来评估，硅片尺寸为156156mm，并使用Sinton WCT-120进行测试。同时，也采用未制绒的FZ

。晶硅光伏电池的核心工艺的确来源于半导体工艺，比如扩散环节的PN结制备及ＰＥＣＶＤ环节的减反膜生长等，但这个行业有相当多的技术都与半导体关系不大，比如丝网印刷、清洗制绒等。所以，严格的说，光伏技术应该是
，因此掌握了大量的大生产的工艺技术，也就是我所说的产业化技术。同时，国产设备近些年的发展也非常快，最早我们只能做扩散炉，后来是刻蚀机、单晶炉、层压机，再后来是PECVD、铸锭炉、多线切割、自动化

%。　　详细内容　　（一）单晶与多晶的成本差异主要在拉棒与铸锭环节从生产工艺来看，目前，单晶组件与多晶组件的生产差异主要体现在拉棒与铸锭环节，后期的切片、电池(单晶是碱制绒，多晶为酸制绒)、组件环节差别