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PECVD设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售，为太阳能光伏电池生产企业提供高转换效率大产能整体解决方案。在行业潮起潮落时

间衬底为n 型晶体硅，经过清洗制绒的n 型c-Si 正面依次沉积厚度为5～10 nm 的本征非晶硅薄膜(i-a-Si:H)、p 型非晶硅薄膜(p-a-Si:H)，从而形成p-n 异质结。在硅片背表面
目标，需要在设备和应用方案方面不断创新来降低度电成本。根据国家能源局、工业和信息化部、国家认证委《关于提高主要光伏产品技术指标并加强监管工作的通知》，先进光伏发电技术应用基地采用的多晶硅光伏组件和单晶

退火也可以抑制多晶PERC光衰。黑硅的湿法刻蚀解决方案在多晶黑硅+PERC电池技术上，目前主要有直接制绒、湿法黑硅(MACE)与干法黑硅三种方案。与目前的工业水平相比较，湿法黑硅方案具有较强的
，然后开口以形成背面接触。这是比常规光伏电池生产流程多出来的两个重要步骤。此外，基于化学湿台的边缘隔离步骤需要针对背部抛光稍做调整。也就是说，硅片背部绒面金字塔型结构需要被溶蚀掉。抛光的程度基于选用技术

。然而，多晶硅片在使用金刚线切割时，经过常规制绒工艺后，表面反射率更高并有明显的线痕等外观缺陷，严重降低电池效率，阻碍了金刚线切多晶硅片的大规模推广。因此，目前金刚线用于多晶硅片切割的主要障碍在于电池制绒

问题，二是金刚线切割的损伤层比较浅，使得传统的HF/HNO3制绒技术不能产生良好的光学性能。目前，保利协鑫等多晶行业龙头企业已通过黑硅等技术手段较大程度上的克服了上述问题，并推出了相关金刚线切割的
金刚线采购额约合人民币 2.68 亿元。因此，单晶硅市场份额的提升有利于拉动金刚线的市场需求。 ②蓝宝石切割用金刚线市场概况蓝宝石产业链包括上游的长晶设备制造商、原材料及耗材提供商、蓝宝石晶体生产

覆盖BSF电池相同。电池前表面涂覆了一层均匀的发射极(重掺杂n+层)，是在使用各向异性刻蚀法对硅片表面进行制绒后在其上面进行热扩散磷元素掺杂而成的。在发射极顶部，有一层由PECVD工艺沉积而成的
100cm/s以下，而开路电压(iVoc)则在680-690mV之间轻微波动。考虑到本次研究所使用硅片的质量，以及制绒表面远远大于实际硅片面积的情况，这些数据与文献(可参考Werner等所写文章及其

异质结超高效组件或将进一步加速度电成本的大幅降低。为加速推进这一超高效技术成本的下降，晋能科技正加速从银浆、ITO靶材、制绒添加剂和CVD等专用设备等多途径着手。在异质结技术降本实现之后，加上可预期的规模化效应，未来这一超高效技术在成本上可与单晶PERC单瓦成本持平。