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15％到20％的量产效率提升只是晶体硅光伏的短期目标，随着硅纳米线（Si－nanowires）的提出，EUV光刻、干法刻蚀等越来越多的半导体工艺将应用与太阳能光伏产业，从而实现转换效率的大幅提升
计划涵盖工艺技术、建模、可靠性以及纳米硅、有机光伏等前沿技术4个模块。Schott Solar、Total等能源与光伏公司已参与其中，MEMC、Semitool、 LeyboldOpticas等设备

新兴产业制高点。目前，尚德已在全球建立6个研发中心，聘请外籍专家数十人。此外，江苏省一批骨干型光伏企业已经着手攻克光伏产业技术装备的国产化，PECVD、等离子刻蚀机、激光机和层压机、太阳能电池及
组件的测试等设备已经实现国产化，预计到2012年江苏的光伏产业装备将实现100%的国产化。市场培育严重落后于产业发展，在光伏行业表现得最为明显。而解决上网电价问题，是培育和启动市场的关键

制造工艺，如刻蚀、PECVD、LPCVD、PVD、MOCVD以及清洗等。”Edwards中国分公司总经理许坚说。“制造工艺的复杂度不断提升，对包括真空泵在内的设备硬件提出了更苛刻的要求
实现的。 “在太阳能光伏制造中，薄膜太阳能电池的工艺腔远远大于传统的半导体反应腔，腔体的增大意味着对抽真空能力更高的要求。大设备需要大的抽气量并快速达到真空度要求。”许坚坦言：“对于大面积

提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线的需要。而装片量达196片/管
光伏产业涵盖了太阳光能转化为电能的一系列过程，而装备是贯穿整个产业链的基础，光伏产业链的每一个环节都离不开相应的生产设备。设备是太阳能光伏产业发展的核心和基础。查看更多精彩资讯光伏产业涵盖了太阳光

、环保处理、扩散成本等技术性能方面又有全面提升，可全面满足国内最新工艺的需求。新型ICP刻蚀设备，采用无油真空泵、自动匹配射频电源，工艺时间更短，去边效果更好，维护成本更低，单台产能即可满足30MW生产线
理念，加速技术提升步伐，积极参与终端市场的开发，设备、产品和应用并举，以领先的产品助推产业的发展。作为国内最大的太阳能电池设备生产商，我们和多个一流企业有紧密的合作关系，参与并见证了国内产业的发展和

扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据
近几年，国产半导体设备企业在太阳能光伏产业的带动下取得了飞速发展，已经占国内全部半导体设备销售收入的一半以上。业内人士表示，国产设备应该顺应太阳能光伏产业的发展，提高性价比，从而赢得更多的市场

、丝网印刷和烧结等工艺。制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。扩散工艺以管式扩散炉为主，也
增强化学气相沉积)技术，将具有减反射效果的SiNx薄膜镀在电池受光表面，增大光吸收量。目前有3种类型的进口设备，国产化设备研制也已迈开步伐。丝网印刷技术是目前简单可靠、精密且低成本的

㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm
太阳能硅电池生产流水线，该项目位于上海市闵行区紫竹高新技术产业园内,厂址东侧为淡水河，南临江川东路，西面是上海恩德斯豪斯自动化设备有限公司，北面是雅马哈发动机研发（上海）有限公司。项目占地面积约

单晶硅电池的转换效率最高,国内已达到17.6%。多晶硅电池的转换率也突破了16%。制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等
、接线盒、边缘密封带及金属柜架，就完成了整套组件的封装工艺。在整个光伏产业链条中,太阳能电池组件封装的资金和技术门槛最低。多数设备已实现国产化，且价格比较便宜。由于电池片越来越薄，为了减少破碎率，一些企业

大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外
随着国家对新型可再生能源发展的重视，作为中国光伏产业基础支撑的光伏装备也随着光伏产业的发展而不断前行。以晶体硅太阳能电池生产设备为例，依靠我国半导体设备行业数十年来的技术积累，通过和一流

的包括扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、清洗机、单晶炉、铸锭炉等关键设备在内的“晶体硅太阳能电池制造成套装备”获得成功，也标志着我国已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力
进口设备。而中电48所，作为多年研发半导体集成电路关键工艺装备和电子工业窑炉等高温装备的电子装备研究所，早在2001年就开始研发太阳能光伏产业所需关键工艺装备。这是一次愉快之旅。在中电

国际竞争的条件；200mm扩散炉的制造已和国际中等水平相当，性价比优势十分明显，并在实际中大量应用到国内的太阳能电池片生产线上，属于比较成熟的设备；国产刻蚀设备距国际先进水平差距较大，产量较低，但
提升国产设备的技术水平，强化已有产品的性价比优势，提供更快捷更优质的技术服务，加快研发填补国内空白的产品，尽早提供国产装备的整套解决方案是国内太阳能装备厂家努力的方向。纵观