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本研究使用德国ROTH&RAU科学仪器研制中心制造的PECVD-SiNA1型设备制备不同厚度的SiN薄膜。测试设备用：SENTECH生产SE-400ADV的激光偏振仪；SEMILAB生产的WT-2000
的少子寿命测试仪。实验材料：材料采用P型(100)的直拉的125mmx125mm单晶硅片，电阻率约为0．5～3Ω·cm，厚度200+50μm。在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除

、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量
出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在

数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉已在国内生产线占据主导地位，管式
在大规模生产中，产品稳定性非常重要，真正要达到较高的光电转换率，对于硅材料质量以及工艺技术水平要求都很高，而设备的可靠性、自动化程度又直接影响企业的竞争力，今后设备将以提高电池转换效率、降低生产成本

腾堡成立，2002年在中国苏州投资建立了库特勒自动化系统（苏州）有限公司。公司自05年起为尚德集团开发和供应高品质太阳能设备，以诚挚之心加入到低碳环保的太阳能事业。多年来，库特勒已形成湿刻蚀清洗制绒机
、边缘刻蚀及去PSG机、自动化上下料机，组件自动化传输线等设备研发制造产业链。在2011年库特勒占地166亩位于苏州的新基地将投入使用，届时，拥有一个德国基地，两个苏州基地的库特勒，必将成为太阳能电池

、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国GTSolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。2003年,第一台GTSolar生产的多晶硅铸锭炉进入中国。那时,中国还没有多晶硅
。2010年之前,我国的光伏制造装备基本处于进口设备一统天下的局面。3月26日,工信部副部长苏波在2011年经济形势与电力发展分析预测会上表示,要大力发展新能源装备产业以及能源装备制造的相关支撑技术和装备

金额达到18.4亿元,著名私募泽熙以122.46万股的持股量位居第九大流通股股东,而私募三羊以94.15万股紧随其后。　　2010年之前,我国的光伏制造装备基本处于进口设备一统天下的局面。3月26日
和产业化力度,切实提高产业自主发展能力。　　目前,我国太阳能光伏电池产量已居世界首位,但丝网印刷机、高温烧结炉等关键设备仍主要依靠进口,大大增加了我国太阳能光伏电池的投资和生产成本。　　国产化替代进口

索比光伏网讯:弗罗里达州圣彼德斯堡--Sorra公司是一家领先的LED和激光技术公司，该公司最近购买了三套Plasma-Therm系统，用以在其晶圆制造工艺过程中进行等离子沉积和刻蚀步骤。Soraa
用于操作不同的设备集。应用Plasma-Therm工艺系统的积极经验不仅吸引了更多新的订单，而且还保持了持续的业务关系。以前使用Plasma-Therm设备所体会到的优越性在这次制造商购买

光伏产业之后的相当一段时间里，只是在高温扩散炉和等离子体刻蚀机获得迅速突破，投资比重大、也更为重要的铸锭炉和切割机等关键设备，依然是一片空白。国内光伏产业也在积聚数年后于2006年前后迅猛爆发，在此背景下
亿元的光伏制造装备销售额，挤进了全球前十。更显著的是，在国内，它在光伏电池制造设备这个细分市场上牢牢占据着80%的份额。按照西蒙理论的三个条件：巨大的市场份额、鲜为人知的中小企业以及社会知名度低。显然

CEC 认证等一系列认证，产品可以在欧盟、美国等地区销售。公司募投项目还引入了国内外先进的生产设备，同时采用单面制绒技术、二次扩散技术、背面刻蚀技术、二次印刷技术和二次烧结工艺技术，以提高
及各项技术指标达到或超过了同类进口设备的水平。 3、产品质量优势公司十分重视质量管理，生产和检测设备配置完善。每条生产线均配有硅片检测、清洗制绒、清洗甩干、扩散、刻蚀、去磷硅玻璃、沉积减反射膜

中国电子科技集团公司第四十八研究所（以下简称48所）成立于1964年，由原国防科委14研究院北京新工艺研究室和公安部湖南实验工厂合并组建，又名长沙半导体工艺设备研究所。是我国以集成电路、半导体照明
、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和SOI材料等技术为主的骨干科研生产机构。同时也是国内唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商；以MOCVD设备为主的光电子装备供应商；国内最大的太阳能光伏

制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和
对话人：中国电科四十五所所长郭永兴国产设备已基本满足太阳能电池制造需求邸允柱：设备和材料是光伏产业发展的基础，有关材料，尤其是多晶硅材料，随着国内生产线不断加紧建设