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断完善 ● 面向高度钝化技术(如钝化接触(PERL、PERT)和HJT)的设备技术梅耶博格系统案例：实现从铝背场至PERC的技术升级迄今为止，采用梅耶博格技术完成PERC升级的机台总产能超过了30
的各个组件的单位发电量： ● 单面铝背场(对照组，设为100%) ● 灰色：双面PERT ● 蓝色：双面HJT/SWCT(异质结电池片结构/SmartWire智能网栅连接技术) 上述组件对比

进一步发展，焊带的设计对组件性能存在如下几点制约： A ●组件电路排列是全串联方式，遮挡、热斑等造成的问题对于组件的输出与可靠性影响很大。 B ●组件里的电池隐裂问题，多由于焊带与电池主栅之间的
并联、无片间距的优异设计，又进一步地提高组件受光面积，其组件内耗的降低，较半片组件的优势又放大了九倍(六分片设计)。 2015年，全球最大的电气设备企业东方电气，单晶龙头中环股份，以及一直以高效电池

各种应用形式。爱康科技提出以高效 HJT 异质结电池+高效叠瓦组件为核心的产品技术路线。新一代迭代技术光伏组件生产项目落地，光伏核心设备制造研发，同时在能源互联网领域发力。协鑫集成在
光伏电池产品，光伏建筑一体化方案：发电墙、汉瓦、发电玻璃，薄膜发电产品，Solibro的CIGS薄膜发电技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备

，光伏技术出现新的整合趋势，产业链上中下游的研发路线都在调整。可增效降本的双玻、双面、半片、MBB、多主栅和叠瓦等趋势更为凸显，代表未来趋势的PERC技术、金刚线切割、高效 HJT 异质结电池等高
技术，CIGS共蒸发技术，小尺寸组件的转换效率：1cm2电池转换效率达到21.0%，硅基薄膜生产设备以及流程，柔性光伏组件，透明导电氧化玻璃(TCO，掺杂或本证氧化锌膜层)镀膜工艺。PECVD，PVD和低压

技术(如钝化接触(PERL、PERT)和HJT)的设备技术案例：利用梅耶博格系统实现从铝背场至PERC的技术升级迄今为止，采用梅耶博格技术完成PERC升级的机台总产能超过了30 GW
的各个组件的单位发电量：单面铝背场(对照组，设为100%) 灰色：双面PERT 蓝色：双面HJT/SWCT(异质结电池片结构/SmartWire智能网栅连接技术) 上述组件对比试验所选取的

硅片、控制硅片内的氧含量;其二是对电池片通过在一定温度下进行光、电注入，使B-O对中性化不会吸附产生的少数载流子，从而减少光衰，设备厂家有Centrotherm、科隆威、Schmid、时创等。随着
IBC、MWT等电池; (2)高质量的硅材料，结合背面钝化来降低背面复合速率，以及双面技术的引入，可制备PERC、PERT、PERL电池; (3)通过异质结结构，提高内建电场，如HIT、HJT以及

技术竞争力吸引了整个产业界的关注，产业化设备、关键材料都在加速开发中。通过少量技术改变，在基本不增加成本的基础上，PERC电池可实现双面发电。双面PERC成为行业新热点，其优势包括：可双面发电、双玻
更高的衰减，尤其是多晶PERC电池，较多晶常规电池的光致衰减高6~10%。单晶PERC电池的衰减主要与B-O缺陷对有关，通过降低硅片中的氧含量，采用掺Ga代替掺B可有效控制光致衰减。而多晶PERC的

衰减解决方案。我国的光伏企业也相继推出了针对单多晶PERC电池的抑制衰减的工艺和设备。研究认为使用低温浆料，采用吸杂、高温退火及激光快速退火等手段可以抑制衰减。导致衰减的因素仍在研究中，除常规B-O对
AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前后，开始有厂家

的背面的钝化的AlOx介质膜的钝化作用引起大家重视，使得PERC电池的产业化成为可能。随后随着沉积AlOx产业化制备技术和设备的成熟，加上激光技术的引入，PERC技术开始逐步走向产业化。2013年前
21.63%（我国晶科）。图1全球电池产能预测PERC电池的技术竞争力吸引了整个产业界的关注，产业化设备、关键材料都在加速开发中。MeyerBurger公司采用PECVD法制备AlOx膜的沉积设备，报道了

今年起将有更丰富的设备、工艺需求投入研发;加上中国领跑者计划持续刺激技术升级，贺利氏十分看好N型的未来。另一方面，从技术、发电表现与厂商的投入状况来看，HJT确实是次世代技术的一大选项，但因资金与
，贺利氏再推出升级版的正银SOL9641B与背银SOL326系列。前者可供PERC与BSF电池之超细线印刷与低温烧结使用;而后者的附着性更佳，导电效果更好。 PERC应用于单晶的提效成果较佳，且2016

摘要: 在所有的太阳能电池技术中，硅基异质结（HJT）太阳能电池最引人注目，因为其具有高的转换效率、简单的工艺流程和低的温度系数。在HJT太阳能电池的制造过程中，等离子增强化学气相沉积设备
的无PID（电势诱导衰减）和无LID（光致衰退）效应保证了光伏组件更可靠和更长的使用寿命。表1总结了HJT太阳能电池和传统光伏技术相比所具有的优点。 2 HJT太阳能电池的核心制造设备

膜层结构； (右) HJT生产制备流程 (a) 采用不同的光伏技术组件所得到的实际输出发电量和标准测试条件下发电量的比值(PTC/STC)平均值；(b) 不同地理区域采用不同光伏技术组件
设备成本，在整条生产线上，单纯的PECVD设备就占据了~35%的资金投入，因此设备要具有很高的产能来保障HJT低的生产成本。工艺流程如图1所示，非晶硅钝化层由精曜(苏州)新能源科技有限公司