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新型晶体硅太阳电池 1常规设备的改进 2常规BSF电池的关键技术：黑硅技术表3：金刚线切割多晶硅片的常规织绒技术还未解决单晶硅电池与多晶硅电池的差距在缩小
镀膜技术根据Plasma的产生方式，又可以分为电感耦合等离子体增强ALD(ICP-ALD)、电容耦合等离子体增强ALD(CCP-ALD)及微波等离子体增强ALD(MWP-ALD

发射结均匀性差导致填充因子较低，并且长期使用或存放时，由于发射结表面钝化不理想等原因电池性能会发生衰退。另外，B2O3的沸点很高，扩散过程中始终处于液态状态，扩散均匀性难以控制，且与磷扩散相比，为了获得
%（Voc=699mV，Jsc=41.3mA/cm2，FF=80.5%），电池结构如图6所示。基体材料为N型CZ单晶硅，正面通过离子注入形成硼掺杂p+发射结，正面采用ALD工艺沉积Al2O3钝化层钝化

摘要：目前，G6铸锭炉是国内ink"光伏行业中主要的多晶铸锭设备，然而多晶铸锭最重要的是质量和成本，G8的生产效率更高，成本更低，质量也较好；G6多晶铸锭设备也不断老化，将面临着更新换代，因此下一代
生产环节（硅料、晶硅、切片、电池、组件、系统）都在不断地进行提高生产效率、降低生产成本、提升整体质量。而晶硅环节中，市场首选是利用多晶硅进行铸锭。在国内，目前光伏行业内主要的多晶铸锭设备是G6（66

VLSI Research发布了2009年度光伏制造设备供应商排名。Applied Materials连续第二年问鼎，其光伏设备业务超过了10亿美元。尽管2009年市场动荡，当2008年前10的
企业中有9家仍在榜上，显示领先的厂商成功地保持了市场份额。2009年光伏设备整体市场，包括多晶硅、晶棒、晶圆、电池和模组设备，缩水了12.2%，降至77亿美元。 Top 10 Suppliers