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等离子体刻蚀的几种基本方法示意图。(a)溅射法是由于能量离子的撞击而引起表面物质的原子急速蒸发和向外喷射的纯物理过程，这种方法选择性差，易引起器件损伤。(b)化学法是在化学方法刻蚀中，等离子体使中性原子基活化
0.15m陡直的Si窗口图形;(3)Si的快速(非陡直)刻蚀可达3m/min以上;(4)刻蚀出厚度为12m陡直的SiO2图形。4.使用方法(1)开启等离子刻蚀机电源开关、冷却水开关，开氧气(O2)和四氟化

　测量设备 5.1　风速计的技术参数要求：a) 测量范围:0m/s～60m/sb) 测量精度: 0.5m/s(3m/s～30m/s)c) 工作环境温度: -40℃～+60℃5.2　风向计的技术参数要求
：a) 测量范围:0～360b) 测量精度:2.5c) 工作环境温度: -40℃～+60℃5.3　温度计的技术参数要求：a) 测量范围: -40℃～+60℃b) 测量精度: 0.5℃c) 工作环境

近日，3M通过自主创新开发，推出了高性能EVA系列产品，包括3M Encapsulant 9000， 3M Encapsulant 9000 UVT以及白色EVA。该系列产品具有高透光率，持久的对
玻璃及背板材料的粘接强度，优异的耐候性以及良好的层压表现，已实现大批量生产和销售。3M高层表示，公司在生产过程中严格执行质量控制标准以保障EVA产品质量的稳定性。3M Encapsulant 9000

板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化电池DSSC生产技术及研究设备B、光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商
控制系统、太阳能取暖系统工程、太阳能光伏工程程序控制和工程管理及软件编制系统参展费用：标准展位（豪标，3m x 3m）：国内企业（协会会员）：RMB8,000/个国内企业

、室外特展：价格3000元/9平米，54平米起租光地，（54平米及以上面积）。备注：A、异型展位、大型展位的特殊装饰需提前1个月联系组委会，室内限高4.5米，室外限高5米，并注意防雨。B、所有展示企业
标准执行）。3、标准展位（三种规格）：规格一、3m×3m，价格3500元（角位加收300元/个）；规格二、3m×2m，价格2500元（角位加收300元/个）；规格三、3m×1m，价格1500元（角位加收

化工设备及仪器：捏合机、反应釜、搅拌机械、研磨设备、分散设备、流体机械等配套机械； ◆收费标准：（双面开口展位加收原展位费的20%） 1．标准展位9m2（3m×3m）配置：展出场地、三面展板（2.5m
光地1400元/1平方米/展期 B区：11800元/个展台/展期光地1200元/1平方米/展期外资企业USD4000/个展台/展期

、农村光伏发电系统、太阳能检测及控制系统、太阳能取暖系统工程、太阳能光伏工程程序控制和工程管理及软件编制系统参展费用：标准展位（3m×3m）： A区 12000元， B区
10000元空地基本价（面积不低于36m2）：A区 1200元/ m2， B区 1000元/ m2 境外企业：标准展位3800美元，空地380美元

焊接设备及层压设备等；薄膜电池生产设备：硅基薄膜电池，铜铟镓硒电池CIS/CIGS, 碲化镉薄膜电池CdTe,染料敏化电池生产技术及研究设备；B、光伏电池：单晶电池，多晶电池，非晶电池，其他薄膜电池
、太阳能光伏工程程序控制和工程管理及软件编制系统四、参展费用及广告费用A展位规格：国际标准（9平方米），三面或两面围板，公司楣板、一桌两椅，220V/500w电源B展位收费：国内企业：7800元人

生产技术及研究设备B、光伏电池：光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商、聚光电池等C、光伏相关零部件：蓄电池、充电器、控制器、转换器、记录仪
参展费用：标准展位（豪标，3m x 3m）：国内企业（协会会员）：RMB9,800/个国内企业（非会员）：RMB10,800/个外资企业（协会会员）：USD2,800/个

/焊接设备、层压设备等薄膜电池板生产设备：非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化电池DSSC生产技术及研究设备B
：标准展位（豪标，3m x 3m）：国内企业（协会会员）：RMB9,800/个国内企业（非会员）：RMB10,800/个外资企业（协会会员）：USD2,800/个

/CIGS, 镉碲薄膜电池CdTe, 染料敏化电池DSSC生产技术及研究设备B、光伏电池：光伏电池生产商，电池组件生产商
展位（豪标，3m x 3m）：国内企业：10800元人民币/个协会国内企业：9800元人民币/个外资企业：3200美元/个协会外资企业：2800美元/个基本

B、光伏电池：光伏电池生产商，电池组件生产商，电池组件安装商 C、光伏相关零部件：蓄电池，充电器，控制器，转换器，记录仪，逆变器，监视器，支架系统，追踪系统
工程程序控制和工程管理及软件编制系统 G、其它参展费用：标准展位（3m x 3m）：国内企业：9800元人民币/个协会国内企业