,研磨和抛光单,多晶硅锭硅块。传统的价值观和经验是基于热和机械的玻璃生产,喷灯和工具被广泛应用外还被融入到玻璃管的热处理。阿诺德由以下公司组成: Herbert Arnold GmbH & Co. KG , Helmich Automationstechnik(1998); B&C (2005) und Heathway Ltd. (2004).Herbert Arnold 奠定了公司的基础。 实现创新
,并提供其相关的技术服务。2004年收入达80亿美元并连续13年在半导体生产设备领域独占鳌头。公司所生产的主要设备可进行离子注入,快速热处理(RTP),化学机械抛光(CMP),晶片检测及计量。目前在 (US); PIPER MATTHEW B (US); KAMINAR NEIL (US)
太阳能电池材料的蚀刻
WO2005013321
2004-7-19