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。 PECVD(等离子体化学气象沉积): 借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等活性较强的离子体，在基片上沉积出薄膜。主要用于制备氮化硅，氧化铝及非晶硅膜层中，在 PERC
包括氮化硅膜，氧化铝膜，二氧化硅膜，非晶硅膜，透明导电膜等。PERC，TOPcon，HJT，P-IBC 等电池技术通过使用不同的膜层来达到提效目的。氮化硅膜：减反作用和钝化作用。减反射膜原理在于

22.8%的高转换效率，其基本结构如图2a所示。1999年，UNSW的该团队再次宣布其PERL太阳电池(如图2b所示)转化效率达到24.7%。与传统的单晶硅太阳电池相比，PERL太阳电池的主要特点和优势包括
，具有更高的短路电流。同时，背部采用优化的金属栅线电极，降低了串联电阻。通常前表面采用SiNx/SiOx双层薄膜，不仅具有减反效果，而且对绒面硅表面有很好的钝化效果。这种前面无遮挡的太阳电池不仅

SEM图像。由于AAO是用二步法阳极氧化制备的，可以得到孔径及孔间间距分布窄的有序孔结构，见图1(a)。从图1(b)可以证实，在AAO膜底部的氧化铝阻挡层已彻底除去，这使膜能用作真空蒸发时的遮蔽掩膜
导读：采用阳极氧化的超薄氧化铝(AAO)膜作为淀积掩膜被认为是低成本制作纳米图形的潜在方法，因为它们在大面积上的面密度高，且尺寸分布窄。本研究中，我们用超薄AAO模板在玻璃衬底上制备了Ag纳米点

FZ硅片上实现了22.8%的高转换效率，其基本结构如图2a所示。1999年，UNSW的该团队再次宣布其PERL太阳电池(如图2b所示)转化效率达到24.7%。与传统的单晶硅太阳电池相比，PERL
陷光结构，能够最大限度地利用入射光，减少光学损失，具有更高的短路电流。同时，背部采用优化的金属栅线电极，降低了串联电阻。通常前表面采用SiNx/SiOx双层薄膜，不仅具有减反效果，而且对绒面硅表面

优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜
，从而降低少数载流子浓度。背钝化材料在钝化膜材料的选择上。氧化铝(Al2O3)由于具备较高的电荷密度，可以对P型表面提供良好的钝化，目前被广泛应用于PERC电池量产的背面钝化材料。除氧化铝外

氧化铝/ 氮化硅叠层钝化，利用氧化铝中固定负电荷场钝化效应同烧结中形成的氧化硅的化学钝化，背面复合速率大幅降低至10 cm/s。PERC 电池背面抛光可降低背表面的比表面积以降低复合速率，也可增加电池
时间为5 min;处理后以去离子水清洗并烘干;在硅片背面沉积氮化硅薄膜作为制绒掩膜，沉积设备为Meyer Burger 公司的板式PECVD，沉积压强为0.15 mbar，沉积温度为450 ℃，微波功率

依然存在：首先在氧化铝沉积设备上，梅耶伯格的板式PECVD可谓一家独大，然而其维护成本高，TMA消耗量大，同时薄膜质量提升空间较小;而ALD设备目前呈现百家争鸣的态势，国内设备厂商也强势加入战局，然而
晋能(Jinergy)使用其氧化铝沉积设备获得了21.34%的最高PERC电池效率。其设备作为生产线的组成部分，所加工电池的平均效率分别为单晶21%，多晶19%。晶科2017年单晶PERC电池

半导体材料，其薄膜的光电性能早已受到关注。但受制备的限制，其单晶纳米材料物性研究一直进展缓慢。为了制备高质量的单晶有机纳米材料，强磁场中心田明亮课题组博士后韩玉岩等人利用多孔氧化铝衬底和有机分子束沉积的方法来
研究发现，纳米结构的光致发光谱中主发射峰的能量与形貌关系密切，且单根PTCDA纳米线的电导率远大于薄膜的电导率。这些研究结果将为有机纳米结构可控制备、性能提高提供实验依据。（a）PTCDA薄膜、纳米

太阳能电池。存在负电荷Al2O3的低电阻率P型硅通过良好的背钝化，转换效率已经达到 20.6%。其中最优工艺是30nm的Al2O3薄膜上覆盖着200nm通过等离子增强化学沉积（PECVD）的硅氧膜
（SiOx），会导致70cm/s的背面复合速率（SRV），而如果只是130nm的单层Al2O3，会导致90cm/s的背面复合速率。关键词：晶体硅太阳能电池；表面钝化；高效电池；氧化铝。1、介绍硅太阳能电池现在

(a)。从图1(b)可以证实，在AAO膜底部的氧化铝阻挡层已彻底除去，这使膜能用作真空蒸发时的遮蔽掩膜。AAO的孔径及厚度可以分别用调节孔加宽处理和第二次阳极氧化的加工时间控制。本研究中用的AAO膜的
非晶硅薄膜叠层电池时则采用SiH4和GeH4，在沉积过程中，加入B2H5或PH3。可实现掺杂。SiH4和GeH4在低温等离子体的作用下分解产生a-Si或a-SiGe薄膜。非晶硅薄膜太阳能电池仍存在一些

、蜡等有机物杂质。所利用的原理是相似相溶。b.无机酸在清洗中的作用硅片中的杂质如镁、铝、铜、银、金、氧化铝、氧化镁、二氧化硅等杂质，只能用无机酸除去。有关的反应如下：2Al+6HCl
，在硅表面涂有一层具有良好性能的减反射薄膜，有害的杂质离子进入二氧化硅层，会降低绝缘性能，清洗后绝缘性能会更好。2.在等离子边缘腐蚀中，如果有油污、水气、灰尘和其它杂质存在，会影响器件的质量，清洗后

生产能力太阳能电池片25兆瓦，太阳能组件100兆瓦，太阳能灯具100万只，薄膜太阳能电池组件10MW,年产值为30-40亿人民币。组件产品：单晶组件（1580808x35）、（15801068x50
、HCPV-TDB3B156、HCPV-TDB125W。 8 9 10 11 12 1111118 下一页余下全文　　巨力

投资的电池风险公司——ELIIYPower的锂离子充电电池单元（b）。TDK使用了自主开发的层叠型单元（c）。该公司的充电电池模块由直径18mm×高65mm的“18650”圆筒型单元以20
并联×7串联的结构配置。模块电压为25.2V，容量约为1.5kWh。为了提高单元的安全性，电极极板表面形成有氧化铝绝缘层“HRL（heatresistancelayer）”。在展会现场，该公司展示了