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成果，即100cm2的单元实现了20.7％的转换效率。另外，德国制造设备厂商Roth & Rau发布了采用异质结构造实现20％左右转换效率的研究成果，受到了关注。该公司的产品在研发
）。图3：使用交钥匙方式设备制造异质结构造单元制造设备

、丝网印刷和烧结等工艺。制绒清洗工艺是以湿法工艺为主，设备不贵，槽式批次式生产。在线连续式生产设备目前主要依靠进口，价格昂贵，但可节约生产材料。扩散工艺以管式扩散炉为主，也
增强化学气相沉积)技术，将具有减反射效果的SiNx薄膜镀在电池受光表面，增大光吸收量。目前有3种类型的进口设备，国产化设备研制也已迈开步伐。丝网印刷技术是目前简单可靠、精密且低成本的

太阳电他的整个发展历程中，先后出现过各种不同结构的电池，如肖特基（Ms）电池，M1S电池，MINP电他；异质结电池（如ITO（n）／Si（p），a-Si／c-Si，Ge／Si）等，其中同质p-n结电池
）表面织构化电池——也称绒面电池，最早（1974）也是为通讯卫星开发的。其AM0时电池效率η≥15％，AMI时η＞18％。这种技术后来被高效电他和工业化电池普遍采用。（4）异质结太阳电池——即不同